四（二甲胺）鉿

關(guān)鍵詞：

MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機油領(lǐng)域

所屬分類：

產(chǎn)品咨詢：

產(chǎn)品描述

中文名	化學式	CAS號	英文簡稱	英文名	類別
四（二甲胺）鉿	C8H24HfN4	19962-11-9	TDMAH	Tetrakis(diethylamion)hafnium	前驅(qū)體

四（二甲胺）鉿（TDMAH）
化學式	C8H24HfN4
中文名稱	四（二甲胺）鉿
英文名稱	Tetrakis(diethylamion)hafnium
CAS No.	19962-11-9
分子量	354.79
應用	主要用于CVD和ALD的前驅(qū)體材料，用于沉積鉿的前驅(qū)物，制備鉿氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料，廣泛應用于45nm下直至7nm技術(shù)等先進CMOS集成電路技術(shù)中。其應用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中，可展現(xiàn)良好的微縮特性，還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性；在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應晶體管(FeFET)、鐵電負電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結(jié)等新功能器件制造方面表現(xiàn)出良好的微縮特性，為類腦型神經(jīng)形態(tài)計算等變革性技術(shù)研究與發(fā)展提供新的途徑。還可替代二氧化硅，作為金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵極。
產(chǎn)品規(guī)格	6N（99.9999%）